多功能磁控濺射鍍膜儀(濺射、熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)) 多種薄膜沉積設(shè)備,PECVD、ALD、PLD、MBE、磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)等。
脈沖激光外延制備鍍膜系統(tǒng) 脈沖激光外延制備系統(tǒng)憑借著優(yōu)異的性能, PVD公司生產(chǎn)的脈沖激光沉積分子束外延系統(tǒng)在國內(nèi)外擁有較多用戶,為眾多老師開啟薄膜外延制備的新篇章,用分子束外延進(jìn)行半導(dǎo)體材料、ZnO、GaN、SiGe和金屬/氧化物外延生長。
該臺式原子層沉積鍍膜系統(tǒng)擁有達(dá)到或超過市場上其他品牌的功能,同時易于使用和維護(hù) - 成本低于當(dāng)今市場上的價格 腔室溫度:室溫到325°C±1°C; 前軀體溫度從室溫到 150 °C ± 2 °C(帶加熱夾套) 市場上最小的占地面積(2.5 平方英尺),臺式 安裝和潔凈室兼容 簡單的系統(tǒng)維護(hù)和實用程序和 市場上的前體使用
磁控濺射鍍膜機(jī)具有射頻濺射,直流濺射,脈沖直流濺射;304不銹鋼圓柱形腔體,標(biāo)準(zhǔn)直徑有18英寸和24英寸,手動傳片或自動傳片,適合各種形狀尺寸的小片到200mm大的圓片,高真空背景傳遞,可加熱,冷卻,偏壓,旋轉(zhuǎn)。
脈沖激光沉積鍍膜設(shè)備 激光在真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準(zhǔn)穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。
狹縫擠出式涂布鍍膜機(jī) 粘度范圍:1-20000cps,應(yīng)用襯底:玻璃, PET聚酯, 紙張,幅寬:90mm, 120mm, 300mm。
微型磁控濺射鍍膜設(shè)備 這款來自美國的微型磁控濺射系統(tǒng)滿足研究所和研發(fā)部門對真空薄膜沉積的性能要求,占用空間小,具有超高的性價比,可以向客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。
超高真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng) 美國專業(yè)的制造商PVD公司是一家在磁控濺射沉積,電子束蒸發(fā)沉積,脈沖激光沉積等領(lǐng)域有著20年制造經(jīng)驗。
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