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全自動(dòng)劃片機(jī)/切片機(jī)(12英寸)-半導(dǎo)體材料 – 最大 12 英寸硅晶圓 – 真空吸盤:6~12英寸 可切割材料:硅晶圓、QFN、陶瓷、印刷電路板、石英、LED、移動(dòng)式藍(lán)色濾光片、碳化硅等
校準(zhǔn)晶圓標(biāo)準(zhǔn)品-半導(dǎo)體表征 污染晶圓標(biāo)準(zhǔn)品、校準(zhǔn)晶圓標(biāo)準(zhǔn)品和二氧化硅顆粒晶圓標(biāo)準(zhǔn)品使用顆粒沉積系統(tǒng)生產(chǎn),該系統(tǒng)將首先使用差分遷移率分析儀(DMA)分析PSL尺寸峰或二氧化硅尺寸峰。DMA是一種高精度顆粒掃描工具,結(jié)合凝聚態(tài)粒子計(jì)數(shù)器和計(jì)算機(jī)控制,基于NIST可追溯粒徑校準(zhǔn)分離出高精度粒徑峰。一旦尺寸峰得到驗(yàn)證,粒度流就被引導(dǎo)到主硅、晶圓標(biāo)準(zhǔn)表面。顆粒在沉積在晶圓表面上之前被計(jì)數(shù),在晶圓上全部沉
表面光電壓譜--半導(dǎo)體表征 表面光電壓譜進(jìn)行專業(yè)研究時(shí),SPV010或者SPV020表面光電壓譜系統(tǒng)作為開爾文探針系統(tǒng)的升級(jí)配件,匹配共同工作。150瓦直流可控光強(qiáng)的石英鹵素?zé)艨梢赃_(dá)到開路電位來(lái)評(píng)估卷對(duì)卷硅太陽(yáng)能電池的質(zhì)量。
界面力學(xué)分析儀-材料表征 界面力學(xué)分析儀可以用來(lái)直接測(cè)量表面(諸如:無(wú)機(jī)物,金屬,氧化物,聚合物,玻璃,生物分子界面等)間靜態(tài)力和動(dòng)態(tài)力,并在分子級(jí)領(lǐng)域內(nèi)研究界面和薄膜現(xiàn)象。模塊化的設(shè)計(jì)允許更多擴(kuò)張功能和滿足客戶定制需求。
大氣環(huán)境光電子發(fā)射光譜-材料表征 1、大氣環(huán)境下使用 2、功能:光電子發(fā)射光譜+開爾文探針 3、測(cè)試能級(jí):費(fèi)米能級(jí),導(dǎo)帶底能量,價(jià)帶頂能量,HOMO-LUMO,禁帶寬度,功函數(shù)等 4、局域態(tài)密度 (Local Density of States, LDOS) 5、3分鐘得到:費(fèi)米能級(jí),功函數(shù),局域態(tài)密度 6、非接觸無(wú)損測(cè)試,測(cè)試安裝簡(jiǎn)單,操作容易
俄歇電子能譜及電子衍射分析系統(tǒng)-材料表征 俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)電子槍: 型號(hào) :帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡 束流電壓:0-3KV 束流電流:大50uA 束流直徑:大800um 燈絲:鎢燈絲 磁罩:帶前置保護(hù)殼的Mu罩
表面光電壓譜系統(tǒng)-材料表征 表面光電壓譜系統(tǒng)150瓦直流可控光強(qiáng)的石英鹵素?zé)艨梢赃_(dá)到開路電位來(lái)評(píng)估卷對(duì)卷硅太陽(yáng)能電池的質(zhì)量,全數(shù)字化控制所有參數(shù),包括光照強(qiáng)度和波長(zhǎng),該系統(tǒng)對(duì)樣品的質(zhì)量,表面特性和缺陷狀態(tài)進(jìn)行一體化的研究。
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