簡(jiǎn)要描述:電子束蒸發(fā)源-真空組件電子束蒸發(fā)源對(duì)于使用常用熱蒸發(fā)技術(shù)非常難蒸發(fā)的材料,電子束蒸發(fā)是一種有效的蒸發(fā)手段.通過(guò)高能電子束射向靶材來(lái)升高靶材溫度.相比于通常輻射或間接電阻加熱方式,使用這種方式來(lái)達(dá)到溫度沒(méi)有本質(zhì)的限制。
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣,綜合 |
對(duì)于使用常用熱蒸發(fā)技術(shù)非常難蒸發(fā)的材料,電子束蒸發(fā)是一種有效的蒸發(fā)手段.通過(guò)高能電子束射向靶材來(lái)升高靶材溫度.相比于通常輻射或間接電阻加熱方式,使用這種方式來(lái)達(dá)到溫度沒(méi)有本質(zhì)的限制。
我司提供的這款電子束蒸發(fā)源是由高質(zhì)量,與高真空兼容材料構(gòu)成,并且可以烘烤至250℃。
電子束蒸發(fā)源-真空組件
應(yīng)用領(lǐng)域:
表面科學(xué)
金屬薄膜接觸腳
MBE摻雜應(yīng)用
型號(hào)參數(shù):
多種不同型號(hào)提供不同功率的電子束蒸發(fā)源,最高500W,甚至按照客戶需要提供更高功率的電子束蒸發(fā)源。
提供Flux電流監(jiān)控,監(jiān)控蒸鍍速率。
坩堝容量小,節(jié)約靶材,提供最小0.21 mm3,最大1000 mm3的坩堝。
在高真空中,可以烘烤至250℃。
自動(dòng)化軟件控制;
手動(dòng)/馬達(dá)驅(qū)動(dòng)擋板;
占用腔體空間小
冷卻水流量小
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