簡要描述:飛行時間二次離子質(zhì)譜2-材料表征飛行時間二次離子質(zhì)譜是一種靈敏的表面分析技術(shù),可以廣泛應(yīng)用于物理,化學(xué),微電子,生物,制藥,空間分析等工業(yè)和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三維樣品的元素,分子等結(jié)構(gòu)信息。
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飛行時間二次離子質(zhì)譜2-材料表征
儀器簡介:
飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)是一種非常靈敏的表面分析技術(shù)??梢詮V泛應(yīng)用于物理,化學(xué),微電子,生物,制藥,空間分析等工業(yè)和研究方面。TOF-SIMS可以提供表面,薄膜,界面以至于三維樣品的元素,分子等結(jié)構(gòu)信息。
飛行時間二次離子質(zhì)譜2-材料表征
技術(shù)參數(shù):
. 并行探測所有離子,包括有機和無機分子碎片。
. 無限的質(zhì)量探測范圍(實際測量中大于1000m/z 原子量單位)。
. *透過率下實現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。
. 高的橫向和縱向空間分辨率(橫向小于100納米,縱向小于1納米)。
. 探測靈敏度可達ppm或ppb量級。
. 質(zhì)量探測分辨率(M/ΔM) >1000
. 質(zhì)量探測準(zhǔn)確度 ≥20 milli 質(zhì)量單位
. 反射性分析器
. 5 分鐘樣品腔真空度可從大氣環(huán)境達到真空工作環(huán)境
主要特點:
. 超高的表面靈敏度(1x109 atoms/cm2)
· 操作簡單(? day training)
· 1 分鐘分析,樣品處理流程<7分鐘
· 導(dǎo)體和絕緣體表面均可測試
· 可得到元素和分子信息
· 從元素中分離出普通有機物
· 正電和負電的 二次離子質(zhì)譜
· 同位素分析
· 分析面積 ~0.5 mm
· 濺射預(yù)清洗表面
· 提供材料數(shù)據(jù)庫
專業(yè)科研型
MS-1000 簡易型,專業(yè)用于表面分析
MS-1000 臺式型,用于固體表面分子結(jié)構(gòu)定性分析
MS-1000 是飛行時間二次離子質(zhì)譜,屬于靜態(tài)模式的SIMS,對于樣品表面的分子非常敏感
MS-1000 相比其它SIMS,比較便宜,性能價格比高,方便使用,15分鐘可以得到樣品表面信息。
MS-1000專業(yè)設(shè)計用于質(zhì)量控制和錯誤診斷,生產(chǎn)時的指標(biāo)監(jiān)測,以及其它表面分析手段做不到的領(lǐng)域.
質(zhì)譜分析儀和離子槍設(shè)計成一體,使得MS-1000 成為最小的靜態(tài)二次離子質(zhì)譜!
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