手動探針臺：手動探針臺是手動控制的，這意味著晶圓載物臺、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要最少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點，非常適合研發(fā)人員使用。
 
半自動探針臺：半自動探針臺是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器，于2004年3月17日啟用。支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出(測量)四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設(shè)備TP03000A的連接，組成一個測試平臺，完成對器件封裝前的電性能測試(電阻，C/V,擊穿特性等)。